반도체
Seal link
반도체 장비용 고온, 고진공 회전/리니어 S-Seal unit
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문제점 해결 : 무윤활 발식 > 증착장비, CMP
- 윤활유가 없어 폭발 위험성이 없음
- 윤활유가 없어 제품 오염 없음
- 윤활유 공급장치가 없어 폭발 위험성 없음
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밀폐장치란?
화학반응기에서 회전하는 축과 하우징 틈새로 누출되는 유체를 방지하기 위한 장치
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문제점 해결 : 무윤활 발식 > 증착장비, CMP
반도체 : 인텔(미국)
석유화학 : 효성, LG화학
| 조건 | Mechanical Seal | S-Seal(씰링크) | 장점 |
|---|---|---|---|
| 구동 방식 | 윤활유 사용 | 무윤활 방식 | 제품혁신 |
| 윤활유 공급장치 | 필요 | 불필요 | 경제성 |
| loT 기술 | 없음 | 실시간 누출감지 시스템 | ICT 융합 |
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기존 경쟁 제품 : 면 접촉분야 연구
- 씰링크 : 선 접촉분야 연구
| 조건 | Mechanical Seal | S-Seal(씰링크) | 장점 |
|---|---|---|---|
| 구동 방식 | Ferrofluid 사용 | 무윤활 방식 | 제품혁신 |
| 냉각장치(100) | 필요 | 불필요 | 경제성 |
| loT 기술 | 없음 | 실시간 누출감지 시스템 | ICT 융합 |
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기존 경쟁 제품 : 자성유체분야 연구
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씰링크 : 선 접촉분야 연구
| 제품명 | 메카니컬 씰 | 자성유체 씰 | S-Seal |
|---|---|---|---|
| 구조 |  |
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| 작동 방식 | 윤활유 | 자성유체 | 무윤활 |
| 산업분야 | 석유화학 | 반도체 | 화학 + 반도체 |
| 사용조건 | 압력 | 진공 | 압력 + 진공 |
| 가격경쟁 | 고비용 | 고비용 | 13% 감소 |
가격경쟁력 13% : 윤활유공급장치 10% + 모듈화구조 3%
PV
- The first GFCs that were introduced were the GFC200, with a range of accuracy from 1 to 200 sccm, and the GFC2000 with range of accuracy from 10 to 2000 sccm.
- Samsung requested a lower flow GFC that would have a range of accuracy that extended to 0.1 sccm. The GFC20 was introduced to meet this need. Only the internal volume and the diameter of the valves were changed.
- Samsung then requested a GFC with a range of accuracy that extends to 0.025 sccm. We have introduced the GFC5, and once again, only the internal volume and the valve diameter needed to change.
MI
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Vibrationseverity
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SystemArchitecture
VibrationSensor
AcquisitionBoard
MCU Smart VBR
| Transducer Technical Features | ||
|---|---|---|
| He(5N) | 50BT/M | 47L Mn-Steel, JISS 22R |
| L-N2, N2(5N) | 3,000BT/M | 47L Mn-Steel, JISS 22R |
| L-Ar, Ar(5N) | 7,000BT/M | 47L Mn-Steel, JISS 22R |
| CO2 (5N) | 1,200BT/M | 47L Mn-Steel, JISS 22R |
| H2 (5N) | 3,600BT/M | 47L Mn-Steel, JISS 22R |
| O2 (5N) | 1,800BT/M | 47L Mn-Steel, JISS 22R |
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Functionalities
- Vibration Sensors sampling and acquisition;
- Signal elaboration and vibration severitiy computation;
- Datat ransmission and local representation of results throught multicolor LEDs.
| Acquisition Board technical features | |
|---|---|
| Supply voltage | 24V dc |
| Microcontroller | STM32F103ZET6 |
| Communication Port/Protocol | RS485/Modbus-RTU |
| Analog input(max) | 10 |
| Analog input sampling | 20kHz 24/16bit(ADC ext/u C |
| Power consumption(considcing 10inputs) | ≒1W |
| Storage temperature | -40°C - +85°C |
| Operating temperature | -40°C - +85°C |
| Climatic conditions | Indoor |
| Box materal | polymer |
| Box external size | 108 X 42 X 150 mm |
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Functionalities
- Data acquisition form n Acquisition Bords through MODBUS RTU on RS-485 port;
- Parameters setting (10816-3 severity threshold) on Acquisition Boards;
- Visualization on integrated WEB server interface;
- Very user friendly graphica linterface;
- Instantaneus data reading through web browser or additional TCP client for medium/long term monitoring, trend analysis, statistics, preventive and predictive maintenance, report, SCADA, etc...
| MCU Smart VBR technical features | |
|---|---|
| Supply voltage | 15-24V dc |
| Microcontroller | PIC18F97J60 |
| Communication Port/Protocol | Ethernet IEEE 802.3 10Base T RJ-45/Modbus-PTU |
| LCD Display | Optional |
| WEB Server | Integrated |
| Size | 2DIN modules |